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干式无油真空泵

发布时间：

2021/09/15 00:00

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无油干式机械真空泵（又通称干式机械泵）就是指泵可以从大气压强bai下逐渐抽真空，又能把被抽汽体立即排在空气中去，泵腔内无油或其它介质，并且泵的极限值压力与骨架密封式真空泵同等量级或是接近的机械真空泵。现阶段，真空泵领域应用的大多数机械真空泵全是用食油、水或其他高聚物等液体当做泵的介质，在泵内起制冷、密封性、润化等几种功效。伴随着科技进步的高速发展及其真空泵主要用途的扩张，原有的机械真空泵以及所组成的抽真空系统软件出现2个迫切需要难题：一是泵的介质反流环境污染被抽器皿，而这种反流在许多情况下危害产品品质、总数，提升机器的维护费用。次之，因为一些加工工艺过程的反映化学物质使真空泵里的物质比较严重质变，使泵无常中。对于普通的无油超滤装置而言，尽管可以用骨架密封式真空泵再加上冷阱或吸咐阱这类配件来避免反流，但是不能彻底难题，同时使系统软件看起来繁杂。而使用适度形式的干式机械真空泵，则可达到最理想的使用体验。干式机械真空泵的应用是广泛，主要有以下几个层面：

低电压干法刻蚀里的光伏电池制备工艺中；

半导体材料蚀刻加工工艺。在这些生产工艺流程中通常使用或形成腐蚀性气体和碾磨微粒；

除半导体工艺以外一些造成微粒工艺，不想让微粒渗入油泵中，而期待微粒排出来泵外，则用一定形式的干式机械真空泵能够符合要求；

在化工、医药业、食品产业里的分馏、干躁、除泡、外包装等，要防止有机溶液导致环境污染，适合用干式真空泵；

用作一般无油清理超滤装置的前级泵，以防止油污染。近些年，干式机械真空泵获得快速的发展趋势，海外好几家大真空泵公司都研发出新型干式械真空泵。国内众多企业也一直在开展干式机械真空泵的研发研发中，如、、等。现阶段，干式机械真空泵主要分触碰型及非接触型。触碰型干式泵有叶子式、凸轮轴式、往复式活塞机、阀片式等，这种泵的速率比较低，适用小容积高压缩比（单极压缩比）。非接触型干式泵有罗次型、爪型、丝杆型、涡流型等，其速率比较高，可用大空间，低压缩比（指单极压缩比）。不同种类的干式泵具备各自特性。应用时需针对不同的主要用途进行挑选。

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